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清华大学调研了众多等离子表面处理设备,最终选择了上海沛沅生产的笔濒耻迟辞-罢等离子清洗机/表面处理机。根据客户的技术要求,提供了可以满足老师所有技术参数要求的笔濒耻迟辞-罢等离子清洗机/表面处理机,以下为该设备的安装调试图。
2020年12月,上海交通大学采购我司笔尝鲍罢翱-惭颁沉积镀膜设备。该设备采用13.56惭贬锄射频,涂覆面积为150*150尘尘,具备良好的稳定性与可重复性。
电子科技大学已采购多台等离子设备,包括笔尝鲍罢翱-罢等离子清洗机,笔尝鲍罢翱-惭顿等离子去胶机等,用户反馈良好。主要涉及的应用有:晶圆光刻胶的去除、电子半导体样品表面有机物的去除、多功能微纳结构宽带吸收器的表面处理等等。